第一百七十六章：國產DUV光源(第2頁)

九州科技半導體部門研發的穩態微聚束的SS1MB光源，為這個分辨率90nm的S1A600/20光刻機的適配光源設備是DUV深紫外光。

光源設備運行，激光器發射出來的深紫外光

經過矯正後，進入能量控制器、光束成型裝置等設備，再進入光掩膜臺。

光掩膜臺上面放的測試用的光掩膜，之後經過物鏡投射到曝光臺。

曝光臺上放置著一張8英寸晶圓片，上面塗抹了光刻膠。

半個小時後……當然芯片不是這麼一點時間就可以做出來的，但是其工作狀態和試運行成果卻是能判斷的。

“這，這，這……”

“這居然是真的，國產DUV光源？我不是在做夢吧，老趙。”

“純淨度極為優秀”

剛剛還有些負氣的年輕工程師此刻看著工作間裡面的光刻機，嘴巴不自覺張大，眼神有些渙散。

李由作為一個有家室的中年人，很是照顧後輩。

他走到這人身旁，拍了拍他的肩膀。

“回回神，這才剛開始。”

“啊？啊？什麼開始？你們可以把這個光源賣給我們嗎？現在就可以用我們國產的光源了嗎？”

這位青年工程師有些語無倫次，其他研發人員和工程師亦是如此。

整個實驗室和光刻機工作間的人都震驚了。

大夏企業自己的光源設備！

他們等這一天多久了？

有浦東微電子的老工程師不自覺擦起了眼淚。

男兒有淚不輕彈，只是未到傷心處。

這群投身國產半導體行業的老人們更是感觸頗深。

他們當年搞這個的時候……

“造不如買、造出垃圾來賣得又貴，國產不好用。

國產毛病多，你們別做了，還是買德國的光源吧！

搞個光刻機淨坑自己人！”

一句句往日刁鑽刻薄的話此刻在耳邊迴響，再看看現在那臺光刻機。

“終於有好光源了。”

趙教授摘下眼鏡，擦了又擦眼角的淚水，他身旁助理此刻也是以淚洗面。

顧青抿著嘴，搖了搖頭。

雖然瞭解過大夏半導體科研的困難，但他還是低估了當年輿論環境和經濟環境對這些科研人員的傷害。