第一百七十四章:鷸蚌相爭,漁翁得利(第3頁)
這位高管的語氣有些低沉。
“有解決方案了嗎?”顧青問道。
“唉,這種事又不可能大力出奇跡,夏科院光電研究院做的準分子激光光源系統只能說還能用,但是對最新研發項目卻沒有任何幫助。”
“最新研發項目?”
“這事也不是什麼秘密,90nm下一步就是45nm了。
製造這個等級芯片的光刻機,已經足夠普通電器的芯片製造代工了。”
顧青嘆了氣:“那幾個企業擁有堪稱護城河的專利擁有量,我們當初製造晶圓研發的時候也是單打獨鬥”
“聽說顧總是想來談光源設備的合作項目,”
“自然,經過多年研發,我司在光源設備上也有成果產出,今天就是想看看能否幫一幫友企。”
“那求之不得,我帶您去實驗室看看。”
這位高管可不是書呆子,九州科技公司如彗星崛起,技術卻多樣又成熟,稍微動動腦筋都知道對方肯定背景深厚。
浦東微電子的實驗室,雖然說是“室”,但面積卻不是那麼小。
放眼望去,幾百平方米的空間裡,井然有序的擺放著大大小小的設備,其中有不少研發人員捧著報表和文件夾在其中埋頭工作。
浦東微電子總部實驗室的負責人趙興夏身旁簇擁著十幾位或年輕或年長的研發人員。
但他們都沒有人開口說話,都全神貫注的看著眼前的儀器。
顧青率隊在一邊停下了腳步。
很明顯對方正處於試驗關鍵時刻,這種時候一點噪音都不應該產生。
大約三分鐘後。
隨著顯示器上的數值波動歸零,趙興夏嘆了口氣。
“光源還是不夠,其他方面已經成熟了,唉!
基礎科學,基礎科學,我們的材料學沒人攻克的話,光源什麼時候才能有合格的。”
在他身旁有為老者拍了拍趙興夏的肩膀。
“小趙,別灰心,夏科院那邊的同志們也在努力,聽說有幾位老朋友立下了軍令狀,爭取三年內就有合格光源。”
“DUV還是EUV?”
這句疑問雖然聲音不大,但在這安靜的實驗室內卻清晰可聞。
趙興夏一臉愁容的望了過去。
只見一個陌生的年輕人站著一群人前面,面容青澀,卻神態自若。
“哪裡來的年輕人?”他問向身旁的助手。
作為實驗室負責人,他自然不可能事事鉅細。
“老趙,這位是九州科技公司的顧總,還有他們公司半導體研發部門的研發人員。”
這時候引顧青進實驗室的那位高管站出來引薦道。
“這位是趙興夏,趙教授,也是實驗室負責人,項目總工程師。”
九州科技的名聲,現在也不算小。
趙興夏回過神來,略微一思索便說道:“貴司不是做晶圓製造的嗎?難道有興趣做芯片代工了?”
隨即又說道:“也是,這樣做成本更低,銷量肯定不成問題。”
顧青笑著搖了搖頭,與趙教授握手之後,看了一眼他們剛剛聚精會神觀察的設備顯示器。
“DUV光源是準分子激光,而AS-ML1的EUV光刻機用激光激發等離子來發射EUV光子是有原因的。
DUV光刻機的波長能達到193納米,而EUV光源的波長則為13.5納米。
相信趙教授您也知道,二者之間的差距十分明顯,波長越短,所能實現的分辨率越高。這讓EUV光刻機能夠承擔高精度芯片的生產任務。
所以DUV雖然能做48NM,但是難度太大了,必須換EUV才行。”
趙教授沒有說話,他身側的一位年輕研發人卻是說道:“EUV光源都被國外公司包圓了,哪裡有那麼容易給我們用。”
“德國萊卡的鏡頭、通快的光源、德美日韓的專利技術,是的確被包圓了。
可咱們又不是不可以直接從源頭開始換。”羅佳說。
年輕的研發人員冷哼了一聲:“說的這麼簡單,從新研發光源,哪裡那麼容易。”